为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国大气污染防治法》、《中华人民共和国水污染防治法》等法律、法规，防治环境污染，改善环境质量，促进半导体行业生产工艺和污染治理技术的进步，制定本标准。
本标准规定了半导体工业企业或生产设施的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与监督等相关规定。
本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。
本标准为首次发布。
本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。
本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。
本标准起草单位：江苏省环境科学研究院、江苏省环科咨询股份有限公司。
本标准江苏省人民政府于2019年**月**日批准。
本标准自2019年**月**日实施。