本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与监督等相关规定。
本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。
本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。
本标准根据GB/T1.1起草。
本标准为首次发布。
本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。
本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准。